潔凈工程觀感質(zhì)量要求
國家標準GB50073-2001
美國聯(lián)邦標準(USA Federal Standard)209E(1992年)
1m3=35.3ft3。
對照我國標準及美國標準可以看出，我國的3級標準與美國的1級標準相當。從而可以看出隨著半導(dǎo)體行業(yè)從um量級向nm量級發(fā)展的過程中，潔凈室等級要求也越來越高。但目前半導(dǎo)體行業(yè)中普遍采用的均為千級（6級）或萬級（7級），只有局部區(qū)域的高自動化作業(yè)才要求百級（5級）甚至更高。